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    EGPA氣動栓隔膜閥

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    EGPA氣動栓隔膜閥

    發貨期限:自買家付款之日起 3 天內發貨

    所在地:江蘇 蘇州市

    有效期至:長期有效

    最后更新:2022-11-22 12:05

    瀏覽次數:366

    單價:面議
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    公司基本資料信息

    產品詳細說明

     【特點】

    小型、輕量、高動力的致動器搭載自動閥,閥體使用SUS316L不銹鋼。與以往產品相比,執行器負荷大幅提高。自動開 關部也實現了進一步的小型化和輕量化。另外,在所有環境下都能安心使用的無油結構。

    圖片.png    圖片.png    圖片.png?

     

    【適用氣體】

    腐蝕性,毒性,易燃,超高純氣體(半導體):NF3、SiH4、BF3、 SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高純氣體及混合氣體。

    【特征 1】 成功削減約60%的死角空間,清潔性能,耐腐蝕性更出眾

    ① 氣體很難在閥體內滯留,閥的主件不會受到功能損壞或腐蝕。

    ② 可保證氣體純度,對半導體品質的影響降低到最低限度。

    【特征 2】 Cv值0.4∽0.6

    ① 適用于液化氣的大流量閥門,也可用于壓縮氣體。是劃時代的產品!

    ② 進出口螺紋及形式由客戶指定的規格標準生產。

    【特征 3】 采用特殊的平墊片

     ① 可減輕因扭力過大導致的墊片變形。


    參數:


    最高工作壓力

    15MPa  20MPa

    使用溫度

    +5℃∽+40

    鋼瓶接口

    JIS B8246 V2 EN629   25E 3/4-14NGT可選

    充裝接口

    CGA/DISS/JIS/DIN/BS可選

    氦檢漏(Pa.m³/sec)

    1.0X10‾?以下

    執行器工作壓力

    0.5-0.7MPa

    執行器接口

    ?4/?6 可選(軟管快插)

     

     

     

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