CS100質量流量控制器&流量計

類型

CS100A

CS100D

閥類型

常閉

無

常閉

無

流量規格(N2)

(0～10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

準確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% F.S.

響應時間

≤ 1sec

工作壓差范圍

0.05～0.35MPa； 流量規格≤10SLM
0.1～0.35MPa ； 10＜流量規格≤30SLM
0.25～0.45MPa ； 30＜流量規格≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa； 流量規格≤10SLM
0.1～0.35MPa；10＜流量規格≤30SLM

＜0.02 MPa

溫度系數

零點: ≤±0.05% F.S/℃；   調節時: ≤±0.1% F.S/℃

耐壓

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

漏率

1×10-9 Pa·m3 / sec He（1×10-8 atm·cc / sec He）

密封材料

氟橡膠

金屬密封

最大工作壓力

0.45MPa

工作環境溫度

（5～45）℃

輸入信號

模擬:
(0～5)VDC

數字: RS485

無

無

模擬:
(0～5)VDC

數字: RS485

無

無

輸出信號

模擬:
(0～5)VDC

數字: RS485

模擬:          (0～5)VDC

數字: RS485

模擬:
(0～5)VDC

數字: RS485

模擬:
(0～5)VDC

數字: RS485

電源接頭形式

D型9針
陽接頭；

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭；

O型3針
陽接頭

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭；

D型15針
陽接頭

D型9針陽接頭；

O型3針陽接頭

D型15針陽接頭

D型9針
陽接頭；

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭；

O型3針
陽接頭

D型15針
陽接頭

D型9針
陽接頭；

D型15針
陽接頭

D型9針陽接頭；

O型3針陽接頭

D型15針陽接頭

供電電源

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

自動清零

支持

表面粗糙度

25μinch Ra

標準接頭形式

雙卡套 φ6； 雙卡套φ3；雙卡套1/4´´；雙卡套1/8´´；

VCR1/4´´陽接頭；

φ6(內)x1軟管接頭;φ5(內)x1.5軟管接頭;φ4(內)x1軟管接頭

VCR1/4″陽接頭

重量

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg