U22系列減壓器

U22系列減壓器

U22 系列單級(jí)減壓器清潔氣體，壓力穩(wěn)定。 可應(yīng)用于非腐蝕性氣體，腐蝕性氣體，和有毒氣體。膜片和閥體的密封采用了硬密封的設(shè)計(jì)，降低泄漏率，同時(shí)提高了安全性和使用壽命。

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

• 316L 不銹鋼母體

• 膜片式硬密封，泄漏率低

• 可采用面板安裝和后座安裝

• 壓力表標(biāo)準(zhǔn)連接： 1/4” FSR (M)

• 可選：1/4” FSR (F)

• 內(nèi)部電解拋光

• 高清潔的組裝和包裝適用于高純潔度的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

• 使用壽命長(zhǎng)

• 經(jīng)過氦氣測(cè)試

材質(zhì)：

• 母體：316L

• 閥座：PCTFE, Vespel^®

• 膜片：316L, 哈氏合金

功能特性：

• 流量：Cv=1.1

• 母體泄漏率：2×10^-9 atm cc/sec He

• 閥座泄漏率：4×10^-8 atm cc/sec He

• 設(shè)計(jì)驗(yàn)證壓力：最大額定壓力的150%

• 設(shè)計(jì)爆破壓力：最大額定壓力的400%

工作條件：

• 最大進(jìn)氣壓力：500, 3000 psi

• 最大出氣壓力：25, 50, 100, 250, 500 psi

• 工作溫度：-40°C ~ 74°C (-40°F ~ 165°F)

流道表面：

• 標(biāo)準(zhǔn)：Ra 20µin

• 可選：Ra 10µin

內(nèi)部容積：

• 22.6cc

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流量特性曲線

安裝尺寸圖