氣流控制系統

等離子體流動控制設備 產品介紹

   

LFIX系列氣流控制系統由質量流量傳感器、熱式原件、質量流量調節閥和壓力檢測組件等組成，它利用流動的流體不同的流量效應而制成，其原理是采用量熱法原理測量氣體的質量流量，并分別控制各自氣體的流量，進入混合器進行精密混合，將混合后的氣體按需輸出給用氣點，同時設備自帶多種測量原件對氣體進行檢測，保證混合的..性。

 

 

                                                                                                                                                                                                                                                                                               

  產品用途

   

 

廣泛的應用于真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學化工實驗設備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領域.

 

 

                                                                                                                                                                                                                                  

產品特點

    

 

氣流控制系統能準確可靠的測量和控制氣體質量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準確度不受環境溫度和外界壓力的影響，為半導體設備提供氮氣控制及氮氣溫度的控制測量，保證半導體設備能夠正常運行。