小量程氣體質量流量控制器-LF-N010 （數字型）

產品優勢/ Product advantages

• 氣體質量流量控制器LF-N

  適用范圍:2 ml/min ---30 l/min
  精度:±1.0%F.S，耐壓:3Mpa,信號：RS485  RS232 MODBUS協議，供電：15-24VDC
  用于對中大流量氣體的質量流量進行精密的測量和控制，具有精度高，數字電路，穩定性好，可靠性高，安裝簡單，操作方便。

  
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  產品用途

  用于對中大流量氣體的質量流量進行精密的測量和控制，具有精度高，穩定性好，數字電路，可靠性高，安裝簡單，操作方便。

  

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  應用領域

  廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

  

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• 氣體質量流量控制器LF-N 產品參數 

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  產品型號	LF-N010C	LF-N011M
  滿量程范圍	SCCM   0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM    0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
  量程比	控制器50:1	流量計100:1
  精度	±1.0%F.S
  線性	±0.5%F.S
  重復性	±0.2%F.S
  閥門類型	常閉閥
  響應時間	≤1S
  工作壓差	0.1...0.5Mpa
  .大耐壓	3MPa
  工作環境溫度	5...45℃
  泄漏率	1×10-8Pa.m3/s
  通信信號	RS232/RS485 MODBUS協議
  供電方式	24VDC（250mA）
  密封材料	丁晴橡膠  氟橡膠
  接頭尺寸	3mm  6mm  8mm  10mm  1/8” 1/4”  3/8”
  電器接頭	DB9針