小量程氣體質量流量控制器LF-A010（模擬型）

   產品特點/ Product features

• 長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 0.2%。
  1
• 能夠根據命令變化迅速進行流量響應并且過沖/下沖可忽略不計。
  2
• 流量范圍寬 - 從3 sccm 一直到3000 slm。
  3
• 耐高壓等級 - 高達 10MPA。
  4
• 可拆卸式流量傳感器。
  5
• 不受安裝角度影響。
  6
• 能和其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容。
  7

• 電驅動閥超調。

  8

• 耐化學腐蝕閥門。

  9
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