感光材料是指一種具有光敏特性的半導(dǎo)體材料,因此又稱(chēng)之為光導(dǎo)材料或是光敏半導(dǎo)體。它的特點(diǎn)就是在無(wú)光的狀態(tài)下呈絕緣性,在有光的狀態(tài)下呈導(dǎo)電性。本文介紹的感光材料是光刻膠感光。
光刻膠又稱(chēng)光致抗蝕劑,是一種對(duì)光敏感的混合液體。其組成部分包括:光引發(fā)劑(包括光增感劑、光致產(chǎn)酸劑)、光刻膠樹(shù)脂、單體、溶劑和其他助劑。光刻膠可以通過(guò)光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓?xì)圖形從光罩(掩模版)轉(zhuǎn)移到待加工基片上。依據(jù)使用場(chǎng)景,這里的待加工基片可以是集成電路材料,顯示面板材料或者印刷電路板。
超聲波噴涂系統(tǒng)已被證明可用于需要均勻,可重復(fù)的感光材料(光刻膠或聚酰亞胺薄膜)涂層的各種應(yīng)用。厚度控制范圍從亞微米到100微米以上,并且能夠涂覆任何形狀或尺寸。
高均勻性和均一性
微流噴涂,多種液體進(jìn)料方案
高液體利用率